温度范围：RT10℃~250℃；
氮气流量及残氧监控：可监控氮气流量及含氧量；
洁净度：1000级、100级；
湿度范围：＜5%；
控制器权限管理：
①操作者权限；
②技术员权限；
③管理 权限；
互联网要求：可与MES系统相连接。其他非标产品可定制；
